新凯来首秀SEMICON China 2025：国产半导体装备实现全流程突破

  3 月 26 日，上海新国际博览中心迎来半导体行业年度盛会 SEMICON China 2025。在 E7 展馆的核心展区，一家此前低调的国产装备企业吸引了全球目光 —— 新凯来首次参展即推出 五岳三山 系列高端装备，其中 EPI峨眉山 外延沉积、ETCH武夷山 蚀刻、CVD长白山 化学气相沉积、PVD普陀山 物理气相沉积、ALD阿里山 原子层沉积五大核心装备，与光学检测 岳丽山 BFI 等 13 类量测设备形成完整工艺链布局。

  作为由深圳市国资委全资控股的半导体装备企业，新凯来通过三年技术攻坚，成功突破外延生长、原子层沉积等 5 大关键工艺领域。其展台工作人员向记者透露，此次展出的设备均采用自主正向设计，核心零部件国产化率超 90%，部分技术指标已达国际先进水平。

  在半导体制造的 心脏地带，新凯来的技术突破尤为瞩目。以 ALD阿里山 原子层沉积设备为例，该设备是采用独创的等离子体增强技术，可在 3nm 制程下实现原子级薄膜均匀性控制，其核心 LSP 光源亮度超越太阳光 10 倍，通过精密流场设计实现千小时稳定运行。这种从光源到检测的全系统创新，打破了日本企业在 ALD 领域的长期垄断。

  在光学检验测试领域，新凯来构建的 源、路、探、算、台 五大核心系统已实现全面突破。明场缺陷检验测试 BF1 搭载的深紫外激光光源，配合自研图像算法，可检出 0.1μm 以下的纳米级缺陷，检验测试灵敏度较传统设备提升 40%。该产品已在长江存储等头部企业完成量产验证，单台设备年检测晶圆超百万片。

  数据显示，2021 年国内半导体量测装备国产化率不足 3%，而新凯来通过三年研发，已实现光学检测、PX 量测、功率检测三大领域全覆盖。其原子力显微镜 AFM 量测精度达 0.01nm，X 射线荧光光谱仪 XRF 检测速度较进口设备快 30%，相关这类的产品已在中芯国际、华虹半导体等公司实现量产交付。

  值得关注的是，新凯来独创的 高低搭配 策略：在高端装备实现技术突破的同时，针对成熟制程开发超高的性价比解决方案。以 X 射线衍射仪 XRD 为例，其检测精度达行业领先水平，但成本仅为进口设备的 60%，成功打入东南亚新兴市场。

  作为深圳重大产业投资集团旗下企业，新凯来的技术布局与国家战略高度契合。其研发的外延沉积设备 峨眉山，可同时兼容硅基和第三代半导体材料，为碳化硅、氮化镓等宽禁带半导体量产提供关键支撑。在功率检验测试领域，RATE-FT 测试机已实现 12 英寸晶圆全参数检测，支持车规级芯片可靠性验证。

  行业分析师指出，新凯来的崛起标志着国产半导体装备从 单点突破 转向 体系化攻坚。其背后不仅有深圳国资的资本支持，更联合中科院半导体所、清华大学等科研机构，构建起 产学研用 协同创新体系。截至 2024 年底，公司已申请专利 127 项，其中发明专利占比超 60%。

  当半导体行业进入 后摩尔时代，新凯来的技术突破不仅改写了国产装备的历史，更重塑了全球半导体产业链的格局。从原子层沉积到 X 射线nm 制程覆盖，这家年轻的企业正以 中国精度 挑战国际巨头的技术壁垒。随着 SEMICON China 2025 展会的持续发酵，新凯来的故事或将成为中国半导体装备崛起的最佳注脚。

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