百台自研落地 专精特新小伟人领跑国产半导体量检测国产化

  完成半导体工业链的自主可控，中心配备是要害打破口。近来，卓海科技第100全自主研制的半导体量检测设备成功发运，这不只是一个数字的跨过，更是其中心技能才能老练、工业化进程加快的重要里程碑。作为深耕半导体前道量查验测验范畴的国家级专精特新要点“小伟人”企业，无锡卓海科技股份有限公司（下称卓海科技）再次以硬核实力，交出了这份亮眼答卷。

  量检测设备是保证芯片制作良率的要害环节，技能壁垒极高。对晶圆外表描摹、膜厚、要害尺度、缺点等工艺参数进行高精度、非破坏性丈量与检测，是保证芯片良率与牢靠性的中心关卡。

  在精细杂乱的芯片制作的完好过程中，量检测设备好像“火眼金睛”，VLSI（超大规模集成电路）多个方面数据显现，2024年全球半导体检测和量测设备商场规模高达143.5亿美元，占制作设备比重约13%，是仅次于光刻、刻蚀、薄膜堆积的要害设备类别。但是，该范畴长时间被世界巨子独占。无锡卓海科技作为国家要点“小伟人”企业、量检测设备范畴国内主力军的代表，慢慢地添加中心技能攻关，产品功能不断取得打破。

  卓海科技自2009年创建以来，便锚定半导体量检测这一细分赛道。公司凭仗对职业痛点的深刻理解，走出了一条“修研并重，双轨驱动”的特征开展路途——“修”中砺剑，经过深度服务客户设备保护，堆集了海量一线工艺数据和失效经历，为自主研制奠定了坚实基础；“研”铸矛头，自2020年起，公司组成高水平自研团队，专心于霸占中心技能难关。短短数年，卓海科技成功完成了应力丈量设备、方块电阻丈量设备、反射光谱膜厚丈量仪、无图形晶圆缺点查验测验设备、探针式外表轮廓仪等多款前道要害量检测设备的自主研制与工业化。

  2024年，卓海科技先后取得江苏省首台（套）严重配备产品确定、国家要点“小伟人”资金支撑。这一共同开展途径，使得卓海科技不只具有厚实的技能功底，更具有靠近商场需求的快速呼应才能。

  第100台自研设备的成功发运，标志着卓海科技的产品在要害功能、安稳性、牢靠性上饱尝住了客户的严厉检测，技能老练度得到商场认可，打通了从研制规划、中心部件攻关到整机拼装调试、批量生产的全链条，具有安稳的规模化交给才能，为下流芯片制作公司能够供给了更多元、牢靠的国产化挑选，有用增强了工业链耐性。正是这种执着和热情，推进着卓海科技成为具有整机研制才能的高科技企业。

  卓海科技董事长相宇阳着重：“作为国家级要点‘小伟人’企业，打破要害中心技能、服务国家战略需求是咱们的任务。第100台设备的发运是新征途的起点。咱们将继续聚集主业，加大研制投入，特别是在更先进制程、更杂乱工艺的量检测技能范畴继续深耕，不断的进步中心竞争力，为我国半导体工业链的彻底自主可控奉献卓海力气！”

  在全球半导体工业格式深度调整与国产代替浪潮汹涌向前的布景下，卓海科技凭仗其深沉的技能堆集、共同的“修研并重”形式迎来史无前例的开展机会。未来，这家专心于详尽区分范畴的“小伟人”，有望在半导体前道量检测这片高地上，建立起更多闪耀着我国才智的里程碑。