中科飞测：三款要点设备取得大规模研制投入明场纳米图形晶圆缺点查验测验设备小批量出货

  金融界9月2日音讯，中科飞测发表投资者联系活动记载表显现，公司在新产品研制方面，本年上半年在三款要点设备做了比较大的研制投入，现有产品升级迭代方面，公司现在各类型设备都在向国内最前沿技术工艺推动过程中。在新产品发展方面，明场纳米图形晶圆缺点查验测验设备已有小批量出货，暗场纳米图形晶圆缺点查验测验设备也完成了设备出货，OCD设备现在在客户端验证成果也很好。在HBM等新式应用领域，公司现在的产品能满意国内HBM技术领域先进封装关于量检测设备的需求。