卓海科技请求触摸式轮廓仪双镜头检测设备专利检测成果愈加牢靠

  金融界 2024 年 9 月 18 日音讯，天眼查知识产权信息数据显现，无锡卓海科技股份有限公司请求一项名为“触摸式轮廓仪双镜头检测设备“，公开号 CN3.X，请求日期为 2024 年 8 月。

  专利摘要显现，本发明归于晶圆刻蚀图形检测技术领域，公开了一种触摸式轮廓仪双镜头检测设备，包含设置于晶圆载台的上方的设备板，设备板上设置有测验探头，测验探头上设置有用于与晶圆载台上的晶圆触摸的探针，测验探头的上方设置有仰望镜头，仰望镜头的聚焦点为晶圆上的刻蚀图形，以初步判别刻蚀图形的质量；测验探头的一侧设置有侧视镜头，侧视镜头的聚焦点为探针的针尖，以判别探针是否触摸到晶圆及探针的测验方位是否精确。该触摸式轮廓仪双镜头检测设备既能够对刻蚀图形质量作出初步判别，又能够实时清楚观察到探针是否触摸到晶圆，一起也能够断定测验探头的方位是否精确，比较于单摄像头而言图画显现愈加全面，检测成果愈加牢靠。