Sensofar白光干与仪运用ePSI干与技能完成CMOS的高精度3D概括丈量

  CMOS技能是现代简直一切数字芯片(如CPU、GPU、内存、手机处理器)的两种晶体管互补组合，完成了高集成度、低功耗和高速运算。因为其低功耗、可扩展性和紧凑的设计能力，它被大范围的运用于微处理器和存储器等数字运用中。所以，在分层进程之前和之后至关重要，检测可能会影响后续层的完好性和对齐的任何翘曲或应力，保证电路构成的准确性和可靠性。

  因为CMOS为超润滑外表，一般的丈量仪器很难到达如此高的精度要求，且高倍镜头的视界较小，在丈量较大的样品时需做拼接，而在拼接时易发生必定的丈量误差。

  Sensofar的S neox 3D光学概括仪运用ePSI干与技能和2.5倍镜头丈量CMOS，咱们咱们能够在2.5xTI保证丈量精度的一起，大视界包含完好的CMOS。

  关于硅片等超润滑外表，平整度丈量通常用ePSI进行。此外，咱们的软件套件如SensoPRO还支撑多种ISO规范，答应运用ISO25178生成所需的粗糙度参数，或运用ISO12781生成平整度参数。

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